THIN SOLID FILMS TO COMBAT FRICTION, WEAR, AND CORROSION

被引:52
作者
HINTERMANN, HE
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.582883
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:816 / 822
页数:7
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