EUV EFFICIENCY OF A 6000-GROOVES MM-1 DIFFRACTION GRATING

被引：5

作者：

HURWITZ, M ^{[1
]}

BOWYER, S ^{[1
]}

EDELSTEIN, J ^{[1
]}

HARADA, T ^{[1
]}

KITA, T ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,CTR EUV ASTROPHYS,BERKELEY,CA 94720

来源：

APPLIED OPTICS | 1990年 / 29卷 / 13期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.29.001866

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：1866 / 1867

页数：2