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GRAIN-BOUNDARY DIFFUSION OF PHOSPHORUS IN POLYCRYSTALLINE SILICON
被引:5
作者
:
MURTI, MR
论文数:
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h-index:
0
MURTI, MR
REDDY, KV
论文数:
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0
REDDY, KV
机构
:
来源
:
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
|
1989年
/ 4卷
/ 08期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0268-1242/4/8/004
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:622 / 625
页数:4
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