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[332] GA HABIT PLANES FORMED ON GAAS DURING BR2 - CH3OH ETCHING
被引:10
作者
:
KOSZI, LA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
KOSZI, LA
[
1
]
RODE, DL
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0
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0
机构:
BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
RODE, DL
[
1
]
机构
:
[1]
BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1975年
/ 122卷
/ 12期
关键词
:
D O I
:
10.1149/1.2134108
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
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页码:1676 / 1680
页数:5
相关论文
共 3 条
[1]
GATOS HC, 1960, SURFACE CHEM METALS, P381
[2]
SUBSTRATE ORIENTATION EFFECT ON IMPURITY PROFILES OF EPITAXIAL GAAS FILMS
[J].
MOEST, RR
论文数:
0
引用数:
0
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MOEST, RR
.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1966,
113
(2P1)
:141
-&
[3]
PREFERENTIAL ETCHING AND ETCHED PROFILE OF GAAS
[J].
TARUI, Y
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1971,
118
(01)
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[1]
GATOS HC, 1960, SURFACE CHEM METALS, P381
[2]
SUBSTRATE ORIENTATION EFFECT ON IMPURITY PROFILES OF EPITAXIAL GAAS FILMS
[J].
MOEST, RR
论文数:
0
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MOEST, RR
.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1966,
113
(2P1)
:141
-&
[3]
PREFERENTIAL ETCHING AND ETCHED PROFILE OF GAAS
[J].
TARUI, Y
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TARUI, Y
;
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;
HARADA, Y
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HARADA, Y
.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1971,
118
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