AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FROM THE PLASMA DEPOSITION OF C2H2, C2H4, OR CH4

被引:14
作者
LIN, SH [1 ]
FELDMAN, BJ [1 ]
机构
[1] UNIV MISSOURI,DEPT PHYS,ST LOUIS,MO 63121
来源
PHILOSOPHICAL MAGAZINE B-PHYSICS OF CONDENSED MATTER STATISTICAL MECHANICS ELECTRONIC OPTICAL AND MAGNETIC PROPERTIES | 1983年 / 47卷 / 01期
关键词
D O I
10.1080/01418638308226789
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:4
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