ALIGNMENT SIGNAL FROM A MARK DEFORMED BY MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL OVERGROWTH FOR FOCUSED ION-BEAM IMPLANTATION

被引：3

作者：

MORITA, T

TAKAMORI, A

ARIMOTO, H

MIYAUCHI, E

HASHIMOTO, H

机构：

[1] Optoelectronics Joint Research Lab, Kawasaki, Jpn, Optoelectronics Joint Research Lab, Kawasaki, Jpn

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1987年 / 26卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L234

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L234 / L236

页数：3