3-DIMENSIONAL MONTE-CARLO SIMULATIONS .1. IMPLANTED PROFILES FOR DOPANTS IN SUB-MICRON DEVICE

被引：15

作者：

MAZZONE, AM

ROCCA, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TCAD.1984.1270058

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：64 / 71

页数：8

共 15 条

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