ELLIPSOMETRIC STUDIES ON PLASMA-OXIDATION PROCESS OF IRIDIUM-CARBON COMPOSITE FILMS

被引：11

作者：

SATO, Y

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.189

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：189 / 193

页数：5

共 17 条

[1] ELECTROCHROMISM IN ANODIC IRIDIUM OXIDE-FILMS [J].

BENI, G ;

SHAY, JL .

DAUTREMONTSMITH, WC .

[3]

DELLOCA CJ, 1971, PHYS THIN FILMS, V6, P28

GOTTESFELD, S ;

SRINIVASAN, S .

JOURNAL OF ELECTROANALYTICAL CHEMISTRY, 1978, 86 (01) :89-104

GOTTESFELD, S ;

MCINTYRE, JDE .

GREINER, HJ .

[7]

GREINER JH, 1974, J APPL PHYS, V45, P32, DOI 10.1063/1.1662979

[8]

INOUE N, 1982, SHINKU, V25, P561

[9] AN ELLIPSOMETRIC STUDY OF ELECTROCHROMISM IN IRIDIUM OXIDE [J].

ORD, JL .

[10]

Roth J., 1983, SPUTTERING PARTICLE