HIGH-RATE PHOTOCHEMICAL DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM HIGHER SILANES

被引：5

作者：

DELAHOY, AE

机构：

来源：

JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS | 1985年 / 77-8卷

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(85)90789-6

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

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页码：833 / 836

页数：4

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共 2 条

[1] DELAHOY AE, 1985, MATERIALS ISSUES APP, V49
[2] PHOTOCHEMISTRY OF SILICON-COMPOUNDS .4. MERCURY PHOTOSENSITIZATION OF DISILANE
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