SPUTTER-INITIATED RESONANCE IONIZATION SPECTROSCOPY

被引：78

作者：

PARKS, JE

SCHMITT, HW

HURST, GS

FAIRBANK, WM

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1983年 / 108卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90042-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：69 / 78

页数：10

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