INFRARED-SPECTROSCOPY OF SI(111) SURFACES AFTER HF TREATMENT - HYDROGEN TERMINATION AND SURFACE-MORPHOLOGY

被引:444
作者
BURROWS, VA [1 ]
CHABAL, YJ [1 ]
HIGASHI, GS [1 ]
RAGHAVACHARI, K [1 ]
CHRISTMAN, SB [1 ]
机构
[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1063/1.100053
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:998 / 1000
页数:3
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