3RD HARMONIC-GENERATION AS A STRUCTURAL DIAGNOSTIC OF ION-IMPLANTED AMORPHOUS AND CRYSTALLINE SILICON

被引:50
作者
MOSS, DJ [1 ]
VANDRIEL, HM [1 ]
SIPE, JE [1 ]
机构
[1] UNIV TORONTO,ERINDALE COLL,TORONTO M5S 1A7,ONTARIO,CANADA
关键词
D O I
10.1063/1.96453
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1150 / 1152
页数:3
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