ANALYSIS OF THIN FILMS OF TANTALUM REACTIVELY SPUTTERED IN NITROGEN ATMOSPHERE (ELECTRON DIFFRACTION - 2 NEW STRUCTURES - E)

被引：8

作者：

BUVINGER, EA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1754232

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：14 / &

共 6 条

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