INSITU AUGER ANALYSIS OF SURFACE-COMPOSITION DURING HIGH FLUENCE ION-IMPLANTATION

被引:18
作者
BALDWIN, DA
SARTWELL, BD
SINGER, IL
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(85)90528-2
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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