ZINC CHALCOGENIDE THIN-FILMS GROWN BY THE ATOMIC LAYER EPITAXY TECHNIQUE USING ZINC ACETATE AS SOURCE MATERIAL

被引：90

作者：

TAMMENMAA, M ^{[1
]}

KOSKINEN, T ^{[1
]}

HILTUNEN, L ^{[1
]}

NIINISTO, L ^{[1
]}

LESKELA, M ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV OULU,DEPT CHEM,SF-90570 OULU 57,FINLAND

来源：

THIN SOLID FILMS | 1985年 / 124卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(85)90254-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：125 / 128

页数：4

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共 3 条

[1] HILTUNEN L, 1982, MAY S AN CHEM KUOP, P21
[2] OIKKONEN M, 1984, 6TH P INT C THIN FIL
[3] Suntola T., 1980, SID 80 DIGEST, V11, P108