CHARACTERIZATION OF BACKSTREAMING FLUIDS IN HIGH-VACUUM SYSTEMS BY GAS CHROMATOGRAPHY

被引：1

作者：

ONEILL, HJ

LANGDON, WM

FRERICHS, J

SOMORA, A

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1966年 / 3卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492488

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：273 / &

共 8 条

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