A MODIFIED HEATER SYSTEM FOR RF-CZOCHRALSKI EQUIPMENTS

被引：23

作者：

REICHE, P

HERMONEIT, B

SCHULTZE, D

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/crat.2170200626

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：845 / 849

页数：5

共 9 条

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