2D BORON DISTRIBUTIONS AFTER ION IMPLANT AND TRANSIENT ANNEAL

被引：6

作者：

PEARSON, PJ

HILL, C

机构：

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1988年 / 49卷 / C-4期

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:19884107

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HILL C, 1987, P ESSDERC 87 BOLOGNA, P932