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INTEGRATED PIEZORESISTIVE PRESSURE SENSOR WITH BOTH VOLTAGE AND FREQUENCY OUTPUT
被引：47
作者：
SUGIYAMA, S
TAKIGAWA, M
IGARASHI, I
机构：
[1] Toyota Central Research &, Development Lab Inc, Aichi, Jpn, Toyota Central Research & Development Lab Inc, Aichi, Jpn
来源：
SENSORS AND ACTUATORS
|
1983年
/
4卷
/
01期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(83)85015-X
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
11
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页码：113 / 120
页数：8
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