DESIGN CONSIDERATIONS FOR A PRACTICAL ELECTROSTATIC MICRO-MOTOR

被引:123
作者
TRIMMER, WSN
GABRIEL, KJ
机构
[1] AT&T Bell Lab, Holmdel, NJ, USA, AT&T Bell Lab, Holmdel, NJ, USA
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1987年 / 11卷 / 02期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(87)80016-1
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
7
引用
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页码:189 / 206
页数:18
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共 7 条
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