MASS-SPECTRA OF SILICON CONTAINING INDUSTRIAL GASES

被引：9

作者：

BAN, VS ^{[1
]}

机构：

[1] RCA LABS INC,PRINCETON,NJ 08540

来源：

MATERIALS RESEARCH BULLETIN | 1975年 / 10卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0025-5408(75)90124-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页数：3

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