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SURFACE DAMAGE OF REACTIVE ION-BEAM ETCHED GAAS
被引：13
作者：
NAGATA, K
NAKAJIMA, O
ISHIBASHI, T
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS
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1986年
/
25卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L510
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L510 / L512
页数：3
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