OPTICAL AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF AMORPHOUS-SILICON FILMS PREPARED BY PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：52

作者：

SAITOH, T

MURAMATSU, S

SHIMADA, T

MIGITAKA, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.94069

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：678 / 679

页数：2

共 6 条

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