ON THE 2D MODELING OF HORIZONTAL CVD REACTORS AND ITS LIMITATIONS

被引：46

作者：

OUAZZANI, J

CHIU, KC

ROSENBERGER, F

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(88)90117-0

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：497 / 508

页数：12

共 30 条

[1] TRANSPORT PHENOMENA MEASUREMENTS IN EPITAXIAL REACTORS [J].

BAN, VS .

[2]

Bird R.B., 1966, TRANSPORT PHENOMENA

[3]

BLOEM J, 1978, CURRENT TOPICS MATER, V1

[4]

Bretsznajder S., 1971, PREDICTION TRANSPORT, P361

[5]

Chilukuri R., 1980, Numerical Heat Transfer, V3, P169, DOI 10.1080/01495728008961753

[6]

CHIU KC, 1987, INT J HEAT MASS TRAN, V30, P1645

[7]

CHIU KC, 1987, INT J HEAT MASS TRAN, V30, P1655

[8]

CHIU KC, 1987, CHEM VAPOR DEPOSITIO, P175

COLTRIN, ME ;

KEE, RJ ;

MILLER, JA .

COLTRIN, ME ;

KEE, RJ ;

MILLER, JA .