LOW-VOLTAGE TRIODE SPUTTERING AND BACKSPUTTERING WITH A CONFINED PLASMA .4. HEAT-TRANSFER CHARACTERISTICS

被引：10

作者：

NEVIS, BE ^{[1
]}

TISONE, TC ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318705

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1177 / 1185

页数：9