BORIDING OF STEEL IN A COLD RF PLASMA OF DIBORANE IN ARGON

被引：9

作者：

GRILL, A ^{[1
]}

FINBERG, I ^{[1
]}

AVNI, R ^{[1
]}

SPALVINS, T ^{[1
]}

BUCKLEY, DH ^{[1
]}

机构：

[1] NASA,LEWIS RES CTR,SURFACE SCI BRANCH,CLEVELAND,OH 44135

来源：

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING | 1986年 / 78卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0025-5416(86)90324-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：201 / 207

页数：7

共 11 条

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