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RESIDUAL-STRESS ANALYSIS OF A MULTI-LAYER THIN-FILM STRUCTURE BY DESTRUCTIVE (CURVATURE) AND NON-DESTRUCTIVE (X-RAY) METHODS
被引：2
作者：
CHEN, PC
OSHIDA, Y
机构：
来源：
INTERFACES BETWEEN POLYMERS, METALS, AND CERAMICS
|
1989年
/
153卷
关键词：
D O I：
10.1557/PROC-153-363
中图分类号：
TQ174 [陶瓷工业];
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
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页码：363 / 368
页数：6
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