A METHOD OF FORMING CONTACTS BETWEEN 2 CONDUCTING LAYERS SEPARATED BY A DIELECTRIC

被引：9

作者：

SIRKIN, ER ^{[1
]}

BLECH, IA ^{[1
]}

机构：

[1] XEROX CORP,PALO ALTO RES CTR,PALO ALTO,CA 94304

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1984年 / 131卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2115491

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：123 / 125

页数：3

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共 2 条

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