ELECTRICAL-PROPERTIES OF THIN OXIDES (80-90-A) PROCESSED BY A 2-STEP OXIDATION TREATMENT

被引：1

作者：

BHATTACHARYYA, A

VORST, C

CARIM, AH

机构：

[1] SIGNET CORP,PHILIPS RES LABS SUNNYVALE,SUNNYVALE,CA 94086

[2] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1985.22346

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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