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PRODUCTION OF ULTRA-HIGH-PURITY POLYCRYSTALLINE SILICON
被引：15
作者：
IYA, SK
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0022-0248(86)90228-9
中图分类号：
O7 [晶体学];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
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页数：3
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