ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF INP SURFACE

被引：3

作者：

LILE, DL ^{[1
]}

COLLINS, DA ^{[1
]}

机构：

[1] USN,ELECTR LAB CTR,DIV ELECTR MAT SCI,SAN DIEGO,CA 92152

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569005

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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