LINEWIDTH MEASUREMENT BY HIGH-PASS FILTERING - A NEW LOOK

被引：10

作者：

YOUNG, M

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1983年 / 22卷 / 13期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.22.002022

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：2022 / 2025

页数：4

相关论文

共 5 条

[1]

ABRAMOWITZ M, 1964, NBS US APPL MATH SER, V55

[2] A SPATIAL FREQUENCY FILTER TO REMOVE ZERO FREQUENCY [J].

BIRCH, KG .

OPTICA ACTA, 1968, 15 (02) :113-&

[3] SPATIAL-FREQUENCY FILTERING AND ITS APPLICATION TO MICROSCOPY [J].

HUTZLER, PJS .

APPLIED OPTICS, 1977, 16 (08) :2264-2272

[4]

SWING RE, 1976, P SOC PHOTO-OPT INST, V80, P65

[5]

YOUNG M, 1977, OPTICS LASERS ENG PH, pCH6