ELECTROETCHING OF PLATINUM IN TITANIUM-PLATINUM-GOLD METALLIZATION ON SILICON INTEGRATED-CIRCUITS

被引：11

作者：

FRANKENTHAL, RP

EATON, DH

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

[2] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1976年 / 123卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2132913

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：703 / 706

页数：4

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共 4 条

[1]

Black J. R., 1971, US patent, Patent No. [3,560,358, 3560358]

[2]

Raub E, 1940, Z ELKTROCHEM ANGEW P, V46, P195

[3]

VETTER KJ, 1972, J ELECTROANAL CHEM, V34, P131

[4]

Yahalom J., 1974, US patent, Patent No. [3,798,141, 3798141]