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POLY-GAAS THIN-FILM DEPOSITED ON SILICA SUBSTRATE BY RF-SPUTTERING AND ITS LIGHT TRANSMISSIONAL CHARACTERISTICS
被引：3
作者：
TSUJI, S
IRI, E
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
11期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L896
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L896 / L898
页数：3
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