HYDROGEN-SENSITIVE PALLADIUM GATE MOS CAPACITORS

被引：67

作者：

STEELE, MC ^{[1
]}

HILE, JW ^{[1
]}

MACIVER, BA ^{[1
]}

机构：

[1] GM CORP,CTR TECH,DEPT ELECTR,RES LAB,WARREN,MI 48090

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 47卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1063/1.322971

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：2537 / 2538

页数：2

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共 4 条

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