CHARACTERISTICS AND LIMITS OF A DYNAMIC EXPANSION SYSTEM

被引:6
作者
CALCATELLI, A
RUMIANO, G
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.573013
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1750 / 1754
页数:5
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共 18 条
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