A SIMPLE ETHYLENE CRACKING APPARATUS FOR THE PREPARATION OF CARBON-FILMS

被引:6
作者
GALLANT, JL
DMYTRENKO, P
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1982年 / 200卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(82)90501-4
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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共 3 条
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