HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY OF AMORPHOUS-LIKE TITANIUM-OXIDE FILMS

被引:7
作者
YAMADA, Y
YOSHIDA, K
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1983年 / 22卷 / 04期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.22.759
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:759 / 759
页数:1
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