ION AND NEUTRAL ARGON TEMPERATURES IN ELECTRON-CYCLOTRON-RESONANCE PLASMAS BY DOPPLER-BROADENED EMISSION-SPECTROSCOPY

被引：9

作者：

TSU, DV ^{[1
]}

YOUNG, RT ^{[1
]}

OVSHINSKY, SR ^{[1
]}

KLEPPER, CC ^{[1
]}

BERRY, LA ^{[1
]}

机构：

[1] OAK RIDGE NATL LAB,OAK RIDGE,TN 37831

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1995年 / 13卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.579654

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：935 / 942

页数：8