PIEZODRIVEN SPINDLE FOR A SPECIMEN HOLDER IN THE VACUUM CHAMBER OF A SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引：3

作者：

HATSUZAWA, T

TANIMURA, Y

YAMADA, H

TOYODA, K

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1986年 / 57卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1138999

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：3110 / 3113

页数：4

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共 5 条

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