DETERMINATION OF IN0.53GA0.47AS LAYER THICKNESSES FROM ETCHED STEPS

被引：6

作者：

ELDER, DI

CLAWSON, AR

机构：

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS | 1984年 / 3卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00729391

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

收藏

页码：340 / 340

页数：1

相关论文

共 1 条

[1] A SLOW SELECTIVE ETCH FOR GAINASP GROWN ON INP
FERRANTE, GA
DONNELLY, JP
ARMIENTO, CA
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1983, 130 (05) : 1222 - 1224