共 2 条
[1]
DUMIN DJ, P S SILICON NITRIDE, V83, P354
[2]
HEZEL R, ESSDERC 83, V7, P183
PLASMA ASSISTED GROWTH OF THIN OXYNITRIDE FILMS
被引：8
作者：
GRAHAM, WK
ALDERMAN, JC
机构：
来源：
PHYSICA B & C
|
1985年
/
129卷
/
1-3期
关键词：
D O I：
10.1016/0378-4363(85)90574-1
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
引用
收藏
页码：224 / 228
页数：5
相关论文