INFRARED HEATER FOR SUBSTRATES OF VACUUM DEPOSITED FILMS

被引：1

作者：

LAURIENTE, M

WINTER, JM

BAGROWSKI, J

机构：

来源：

VACUUM | 1964年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(64)90655-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：63 / &

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共 1 条

[1] IMMERSION SUBSTRATE HEATER FOR VACUUM DEPOSITION OF FILMS [J].

QUINN, HJ .

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1961, 32 (12) :1410-&