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RF MAGNETRON SPUTTERED TUNGSTEN CARBIDE THIN-FILMS
被引：12
作者：
SRIVASTAVA, PK
VANKAR, VD
CHOPRA, KL
机构：
关键词：
D O I：
10.1007/BF02744149
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：379 / 384
页数：6
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