APPLICATION OF MEV BACKSCATTERING TO THIN-FILM DIFFUSION PROBLEMS

被引：1

作者：

CAMPISANO, SU ^{[1
]}

FOTI, G ^{[1
]}

GRASSO, F ^{[1
]}

RIMINI, E ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CATANIA,IST STRUTTURA MAT,CORSO ITALIA,57-95129 CATANIA,ITALY

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568598

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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