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HIGH-ENERGY LITHOGRAPHY ILLUMINATION BY OXFORDS SYNCHROTRON - A COMPACT SUPERCONDUCTING SYNCHROTRON X-RAY SOURCE
被引：5
作者：
ANDREWS, DE
WILSON, MN
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
|
1989年
/
7卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.584485
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：1696 / 1701
页数：6
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