A MEDIUM ENERGY FACILITY FOR VARIABLE TEMPERATURE IMPLANTATION AND ANALYSIS

被引:117
作者
CHAUMONT, J [1 ]
LALU, F [1 ]
SALOME, M [1 ]
LAMOISE, AM [1 ]
BERNAS, H [1 ]
机构
[1] INST PHYS NUCL,F-91406 ORSAY,FRANCE
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 189卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(81)90145-2
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:193 / 198
页数:6
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