ELECTRONIC CONDUCTION IN PLASMA-POLYMERIZED P-XYLENE THIN-FILMS

被引:11
作者
TAKAI, Y
HAYASE, Y
MIZUTANI, T
IEDA, M
机构
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/17/2/024
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:8
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