LANGMUIR PROBE CHARACTERISTICS IN RF GLOW-DISCHARGES

被引:42
作者
HERSHKOWITZ, N
CHO, MH
NAM, CH
INTRATOR, T
机构
关键词
D O I
10.1007/BF01016929
中图分类号
TQ [化学工业];
学科分类号
0817 ;
摘要
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