THE DEVELOPMENT OF DIAMOND-LIKE (I-CARBON) THIN-FILMS AS ANTI-REFLECTING COATINGS FOR SILICON SOLAR-CELLS

被引：69

作者：

MORAVEC, TJ ^{[1
]}

LEE, JC ^{[1
]}

机构：

[1] HONEYWELL SYST & RES CTR,MINNEAPOLIS,MN 55413

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571459

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：338 / 340

页数：3

共 5 条

[1]

KERN W, 1980, RCA REV, V41, P133

[2] COLOR CHART FOR DIAMOND-LIKE CARBON-FILMS ON SILICON [J].

MORAVEC, TJ .

MORAVEC, TJ ;

ORENT, TW .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 18 (02) :226-228

[4]

MORAVEC TJ, 1980, SERIXS090103 TECHN P

NILSSON, PO .

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